一台光刻机，一天不开工，几百万就打了水漂。
这笔账，国内的晶圆厂算得清清楚楚。
但现在的问题是，机器坏了，荷兰原厂的人不给修了。
这事儿得从2019年说起。那会儿，美国人那边一施压，荷兰政府就卡住了ASML的出口许可。
最顶尖的极紫外光刻机（EUV），就是造7纳米以下芯片的那个家伙，一台也别想卖到中国来。
ASML当时的掌门人彼得·温宁克，不止一次在财报会上发牢骚，说几亿美元的订单就这么晾着，荷兰那边死活不批。
中芯国际这些等米下锅的客户，没办法，只能到处淘二手的设备，或者想别的辙。
原以为不卖新设备就算到头了，没想到，现在连已经买了的旧设备，维修服务也断了。
ASML本来还计划在2025年3月扩建北京的维修中心，想搞个本地化的服务圈子。
可禁令一升级，什么核心零件更换，什么精密调试，基本上都成了泡影。
这对靠成熟工艺吃饭的产业冲击最大，比如汽车芯片、功率半导体，生产线上的深紫外光刻机（DUV）一旦趴窝，麻烦就大了。
外国专家不来，中国的工程师就自己上。
在长三角一个半导体设备维修中心，一群技术人员干脆把二手的DUV光刻机大卸八块。
他们对着两千多个核心部件，一个个地测绘、分析，硬是建起了一套完整的数据库。
碰上导轨、密封圈这类容易磨损的零件，他们就拿着图纸去找国内的精密制造厂合作。
一来二去，原本要等上半年才能从国外寄过来的易损件，现在45天就能拿到国产替代品。
更难啃的硬骨头是光学系统和控制系统。
工程师们想了个“仿真测试加局部替换”的法子。
他们借来中科院光电所的超精密测量实验室，用激光干涉仪给光刻机的镜头做精度校准。
配套的进口软件到期没法升级，他们就自己写一套控制软件顶上去。
一家晶圆厂的技术负责人说，现在他们厂里八成的DUV设备，基础的维护保养已经不求人了。
关键的故障，自己动手修复的成功率，比以前干等原厂服务的时候，还高了三成。
这种自己动手、丰衣足食的本事，不是单打独斗。
设备商、科研单位、维修公司，大家凑到一块儿，建了个协同网络，有了解决不了的难题，就在群里分享，有新发现的方案，也毫无保留。
光是2025年上半年，这个网络就发布了12份针对不同型号ASML设备的维修指南。
修机器只能解燃眉之急，要想不被人卡脖子，还得有自己的家伙。
光刻机这条路不好走，有人就想，能不能换条赛道跑？
2025年8月，杭州城西科创大走廊，一台叫“羲之”的国产设备进入了测试。
这不是传统的光刻机，而是电子束光刻机。
浙大量子研究院研发的这台机器，用高能电子束直接在硅片上“写”电路，精度能到0.6纳米，画出的线宽只有8纳米。
最关键的是，它不需要掩膜版，特别适合搞量子芯片和一些新型半导体的研发。
当然，这玩意儿也有短板，就是慢。处理一片晶圆的速度，跟光学光刻机比，差了差不多上千倍，指望它来搞大规模量产，暂时不现实。
但它的价值在于，填补了国内在高端研发型光刻设备上的空白。
消息一出，已经有5家科研机构找上门来，要用它来验证下一代芯片的原型。
绕开走不通，那就正面攻坚。
EUV光刻机最核心的技术之一，是那个能发出极紫外光的光源。
2025年4月，中科院上海光机所宣布，他们搞定了LPP-EUV光源。
他们用的是固体激光驱动方案，巧妙地绕开了需要进口的二氧化碳激光器。
测试下来，输出功率和稳定性，都跟国际上的同类产品在一个水平线上。这等于为以后造我们自己的EUV整机，打下了最关键的一块地基。
在新技术突破的同时，现有的设备潜力也没被浪费。中芯国际就靠着手里的DUV光刻机，通过多重曝光的工艺，硬是把N+2制程推到了7纳米级别。
这证明，老师傅用好手里的旧工具，照样能干出漂亮的活儿。
造一台光刻机，不是一个工厂、一个院所能搞定的事，它背后是一整条产业链的协同。
在浙江大学校友企业总部经济园，这种协同作战的模式玩得很溜。
园区的企业碰到了技术难题，直接把“技术需求清单”发出来，这叫“企业出题”。
浙江大学的教授就带着研究生团队来接单攻关，这叫“高校解题”。
地方政府呢，就负责一路保驾护航，从实验室的样品到工厂里的量产，全程提供支持。
“羲之”光刻机能这么快落地，就是这个模式下的一个典型产物。
光有机器还不够，配套的材料也得跟上。
EUV光刻胶被卡脖子，上海一家化工企业就联合复旦大学，用一种新型树脂搞出了化学增强光刻胶，性能已经很接近进口货了。
掩膜版这边，国内企业已经能批量生产14纳米制程用的，正在向7纳米冲刺。
中国是全世界最大的芯片消费市场，2022年，全球34%的芯片都卖到了这里。
这个庞大的市场，给国产设备提供了别人没有的试炼场，设备好不好，拉到生产线上一跑便知，有问题赶紧改，这种“市场拉动技术”的循环，正在快速转动起来。
回头看ASML现任首席执行官克里斯托夫·富凯在2024年7月说的话，就很有意思。
他觉得，限制对华出口会伤到西方自己。德国的汽车工业急需的芯片，很多就是中国生产的。
“阻止别人生产你需要的东西，这事儿不理智。”
而他的前任温宁克，在卸任前也反复强调，如果你不卖设备给中国企业，他们必然会自己研发，这不过是时间问题。
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